- 存货编码: FA01-000061
- 品牌: 日本奥林巴斯(日本)
LEXT OLS4100激光扫描显微镜 产品简介
奥林巴斯 3D 测量激光显微镜广泛应用于不同行业的质量控制、研究和开发过程,它在激光显微领域树立了全新的
标准。现在,为满足测量精度不断提高和测量范围日益扩大的需求,奥林巴斯推出了新型产品 LEXT OLS4100。
该产品不但可以让测量更加快速、简单,而且可以拍摄到更高画质的影像,大大突破了激光显微镜的界限。
全新的 OLYMPUS LEXT OLS4100。突破“可能”的界限。
LEXT OLS4100激光扫描显微镜 产品优势
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非接触式、无损测量
激光扫描显微镜(LSM)采用的是低功率激光,不接触样品。因此,不像基于探针系统的接触式表面粗糙度仪那样存在损坏样品的风险。 |
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卓越的 XY 测量
在 XY 平面精确测量亚微米级的距离 干涉仪是基于普通白光的光学显微镜,它的平面分辨率不高。而 LSM 通过采用更大数值孔径的物镜,和更小波长的光波,极大地提高了平面分辨率。并且通过高精度的激光控制技术,获得更为精确的样品表面形貌。根据拍摄到的图像,LSM可以进行非常精确的 XY 平面亚微 米测量。LEXT OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。 |
无需前期准备即可成像
扫描电子显微镜(SEM)在观察之前需要进行前期的样品准备,如真空脱水和(或)切片处理使之适合样品室。而 LSM 则无需前期的样品准备即可对样品进行测量。而且,将样品放置在载物台上之后,即可直接开始成像。
更大的样品范围-轻松检测 85° 尖锐角
采用了有着高 N.A. 的专用物镜和专用光学系统(能大限度发挥 405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。
高度分辨率 10 nm,轻松测量微小轮廓
由于采用 405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜,OLS4100 达到了 0.12 μm 的平面分辨率。 因此,可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的 0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法,
克服反射率的差异
OLS4100 采用了双共焦系统,结合高灵敏度的探测器,那些具有不同反射率材料的样品, 也能在OLS4100上获得鲜明的影像。
观察/测量透明材料的各个层
多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层,也可测量出各层的形状和 粗糙度以及表面覆膜的厚度。
适用于透明层-多层模式
LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域,并将各层设为焦点,这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量,而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。
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工业领域首创* 的两项性能保证 通常表示测量仪器的测量精度的,有2 个指标:"正确性",即测量值与真正值的接近程度,和"重复性",即多次测量值的偏差程度。OLS4100 是业界首次同时保证了"正确性"和"重复性"的激光扫描显微镜。 |
更多的测量类型-7 种测量模式
更精准的粗糙度测量 作为表面粗糙度测量的新标准,奥林巴斯开发了 LEXT OLS4100。对LEXT OLS4100 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在 LEXT OLS4100 上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离长为 100 mm 的粗糙度。
• 微细粗糙度
使用接触式表面粗糙度测量仪,无法测量比探针的针尖直径更细微的表面轮廓。而 OLS4100 有着微小的激光光斑直径,所 以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。 |
• 非接触式测量 使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时,样品容易受到探针损伤而变形。另外,带有粘性的样品会粘在探针上,无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜 OLS4100,不会影响样品的表面状态,可以准确的测量样品的表面粗糙度。
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• 微米级特征的测量 使用接触式表面粗糙度测量仪,其探针无法进入微米级的区域,所以不能对这些区域的特征进行测量。而OLS4100 可以正确定位,能轻松测量出特定微小区域的粗糙度。
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简易的三步流程
使用LEXT OLS4100,只需将样品放置在载物台上之后即可立即开始观察/测量。由于采用了简易的三步流程——成像、测量和报表——即使用户不熟悉激光显微镜,也可以快速掌握测量的流程。

快速的宏观图拼接
扫描大面积区域时有两种拼接方法可用 :获取实时影像时 的手动模式和快速获取影像时的自动模式。操作非常快速 简单——2D 拼接只需一键操作即可开始,并且可立即获得 大面积的拼接影像。自动模式下有五级拼接尺寸可用,分 别为 :3×3、5×5、7×7、9×9 和 21×21。对于影像上不 需要的部分,可以使用简单的鼠标或控制杆操作手动删除。
用于简易3D 成像的智能扫描
自动3D影像获取
传统的3D 扫描需要复杂的设置,这对新手来说非常困难。LEXT OLS4100 采用了全新的智能扫描模式,即使是初次使用的用户也只需一键操作即可快速获取3D 影像。除了上下限的设置,系统也会根据要获取的影像自动设置合适的亮度。这让即使是初次使用的用户也能获得精确的高度测量和优质的影像。
更快的扫描速度
新的超快模式获取扫描影像的速度是传统快速模式的2 倍,约是精细模式的9 倍。因此,对于那些需要非常精细的Z 轴移动和极高的放大倍率的样品,该模式就非常地适用,例如对刀具的尖端进行检测。
全新的高速拼接模式
从大范围拼接影像中指定目标区域
在宏观图中,要观察的区域可以从大范围的视图中进行指定。在自动模式中,通过设置多625 幅影像的矩形拼接尺寸,可以自动生成区域图,所需的时间大约只需要通常的一半。下一步,在区域图上指定所需的影像并立即开始观察。
手动指定所需的影像区域
在实时模式中,通过在屏幕上跟踪所需的区域,可以手动选择要观察的区域。当观察的样品具有不规则的形状时,该功能非常实用。
快速影像拼接
要使用智能扫描模式获取影像时,只需一键操作即可。由于智能扫描会自动调整Z 轴方向的设置,Z 轴方向的影像获取可以仅局限在所需的区域,因此可以在进行大范围大功率观察时节省很多时间。
一键操作定制报表
创建报表
OLS4100 在测量后可使用一键操作创建报表,而且使用编辑功能可以定制各个报表模板。将测量结果复制和粘贴到Word 或表格应用程序也非常简单,就像从数据库取回所需的影像和报表一样。
目标的一键解决方案
向导功能
为用户设计的详细的向导功能取消了冗长的培训,让新手也能快速简单地进行操作。
主机 |
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LSM 部分 |
光源、检出系统 |
光源:405 nm 半导体激光
检出系统:光电倍增管
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总倍率 |
108x ~ 17,280x |
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变焦 |
光学变焦1x ~ 8x |
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测量 |
平面测量 |
重复性 |
00x: 3σn-1=0.02 µm |
正确性 |
测量值的±2%以内 |
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高度测量 |
方式 |
物镜转换器上下驱动方式 |
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行程 |
10 mm |
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内置比例尺 |
0.8 nm |
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移动分辨率 |
10 nm |
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显示分辨率 |
1 nm |
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重复性 |
50x: σn-1=0.012 μm |
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正确性 |
0.2 + L/100 μm 以下(L=测量长度μm) |
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彩色观察部分 |
光源、检查系统 |
光源:白色LED,
检查系统:1/1.8 英寸200 万像素单片CCD
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变焦 |
数码变焦1x ~ 8x |
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物镜转换器 |
6 孔电动物镜转换器 |
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微分干涉单元 |
微分干涉滑片:U-DICR,
内置偏振光片单元
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物镜 |
明视场平面半消色差透镜5x、10x
LEXT 专用平面复消色差透镜20x、50x、100x
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Z 对焦部分行程 |
100 mm |
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XY 载物台 |
100×100 mm(电动载物台),
选件: 300×300 mm(电动载物台)
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此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。
物镜 |
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型号 |
倍率 |
视场 |
工作距离(WD) |
数值孔径(N/A) |
MPLFLN5X |
108x-864x |
2,560-320 μm |
20.0 mm |
0.15 |
MPLFLN10X |
216x-1,728x |
1,280-160 μm |
11.0 mm |
0.30 |
MPLAPON20XLEXT |
432x-3,456x |
640-80 μm |
1.0 mm |
0.60 |
MPLAPON50XLEXT |
1,080x-8,640x |
256-32 μm |
0.35 mm |
0.95 |
MPLAPON100XLEXT |
2,160x-17,280x |
128-16 μm |
0.35 mm |
0.95 |
OLS4100 的基本原理
405nm激光扫描 光学显微镜的水平分辨率很大程度上取决于所用光的光子和波长。采用短波长的激光扫描显微镜(LSM)比采用可见光 (550 nm 峰值)的传统显微镜,拥有更高的水平分辨率。LEXT OLS4100 所使用的是 405 nm 的短波长半导体激光,因此具有 优秀的平面分辨率。
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2D 扫描系统
OLS4100 配有奥林巴斯独有的扫描加扫描型 2D 扫描仪,电磁 MEMS 扫描负责 X 方向,Galvano 振镜负责 Y 方向。该创新型系统使得扫描仪的轴 和物镜瞳镜处于共轭位置,这是一个理想的光学布局,该系统可以进行高速、低变形的高精度 XY 扫描,使得 OLS4100 可以实现高达 4096×4096 像素的高精度扫描。
共焦光学系统
共焦光学系统有两种特有效果 :去除模糊影像中的光斑、抽取同一高度平面。光斑的去除提升了 XY 的分辨率,加上只抽取同 一高度平面的功能,因此共焦光学系统也作为高度传感器来应用。OLS4100 配有奥林巴斯双共焦系统,即使具有不同反射率 的样品,也可以获得非常清晰的影像。针孔产生共焦效果,使得各个方向都拥有较佳的对比度。
CFO 检索
检测高度信息是 OLS4100 的一项基本功能。通
过在 Z 轴方向上移动物镜,检测出光强度变化
来获取高度信息。奥林巴斯的 CFO 技术可以自
动检测光强度以获取不连续的数据,获得理想 I-Z 曲线,从而计算出大亮度值和相应的 Z 轴
信息,用于确定影像的像素。CFO 技术可以获
得高重复性的数据。
OLS4100 光路图

清晰鲜明的 3D 彩色影像
三种类型的综合影像
LEXT OLS4100 可以同时获取三种不同类型的影像信息 :真彩3D影像、激光全焦点3D 影像和高度信息影像。
再现自然色
OLS4100 采用了白色的 LED 光源和高色彩保真度的 CCD 照相装置以生成清晰、色彩自然的影像,所得影像可以与高级的光 学显微镜相媲美。
更加真实地再现表面
激光DIC(激光微分干涉)
微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小表面轮廓的观察方法。LEXT OLS4100 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜,将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差,生成明暗对比,从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXTOLS4100 拥有DIC 激光模式,即使是低倍率的动态观察,也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。
亮度和对比度之间更加优化的平衡
HDR(高动态范围)影像
OLS4100 的高动态范围(HDR)功能结合了多张以不同曝光率获取的光学显微镜影像,并且分别控制着亮度、对比度、纹理和饱和度,因此HDR 可以以宽动态范围处理影像。OLS4100 尤其可以对纹理不明显的样品的彩色影像进行清晰地观察。
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