SURFCOM 5000DX表面粗糙度仪 商品介绍
達到世界高水準的0.3nm分辨率
● 檢測器採用高穩定雙光路型He-Ne雷射干涉儀。
● 在大範圍下仍具備高分辨率。
傳動部配備線性馬達（已取得專利）
● 透過線性馬達傳動，達成高精確度、高速移動。
● 降低振動量，高倍率下亦可穩定測量。
測量1次便可分析粗度及輪廓
可在保持高精確度的前提下，提升測量效率。
在維持精確度的前提下成功達到大型化
安裝完設備本體後亦可加裝CNC工作臺
高穩定雙光路型雷射干涉感測器
● 配備全新開發、運用東京精密公司的重要技術「光纖雷射干涉測距系統」、分辨率可達0.3nm的高穩定雙光路型雷射干涉感測器。
● 動態範圍及分辨率比為43 333 000：1 ，只要掃描一次便可評估大範圍的輪廓形狀及該形狀中所隱藏的細微表面形狀。
大範圍、自動測量
● 掃描工件後會偵測工件的傾斜度，並讓傳動部自動執行水平校正動作，讓工件和傳動部平行。
● 測量範圍大，橫向為200mm、縱向為13mm
● 能以±45° 自動控制傳動部的傾斜度
● 可透過教導、重現功能，自動處理自開始測量起至列印為止的連續流程。
*傳動部位傾斜裝置為SURFCOM 5000DX-T、SD-T型的標準配備。
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测量范围（mm）
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Z轴（纵向）
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13mm/50mm测臂、臂26mm/100mm测臂
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X轴（横向）
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200mm
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精度
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Z轴指示精度（纵向）
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±(0.2+2 H /100) mm （±0.206μｍ/ H±6ｍｍ）
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测量分辨率
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0.31ｎｍ/50ｍｍ测臂
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X轴指示精度（横向）
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±0.2＋L/1000μｍ （±0.4μｍ/L200ｍｍ）
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测量分辨率
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0.54nm
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直线度精度
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0.05＋3L/10000μｍ （0.11μｍ/L200ｍｍ）
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测量方式
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Z轴（纵向）高稳定倍光路型激光干涉计
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X轴（横向）反光分析光尺
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粗糙度处理功能
参数或计算类型 |
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
标准Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku. Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM, SR,SAR |
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评价曲线
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剖面曲线、粗糙度曲线、滤波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线
波纹度曲线、KIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线(Motif)波纹度中心曲线(Motif)、包络波纹度曲线 表面特性图表负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分曲线 |
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倾斜补偿
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直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键曲线补偿（直线、R面、两端补偿可
以在任意范围内） |
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CUTOFF值
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0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9级）任意（0.001-50mm）
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纵倍率
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50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍
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横倍率
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0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍
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轮廓度处理功能
参数或计算类型 |
点、直线、部分圆、椭圆、在点、小点、距离、坐标着、极坐标差、直交/极坐标差显示、交叉
要素（点-直线、直线-下线、圆-直线、圆-圆、圆-椭圆）、对称要素（点-点、点-圆、点-椭圆、直 线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆¬-椭圆）、面积计算、Overpin计算、尺寸线显示功能、计算结果与 设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功 能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录.回放功能、形状设计值比对、佳似合功能、设计值生成、 |
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IGES/DXF转换
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基准设定原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动
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小测量间距
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0.0005~1mm
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大测量点数
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大150,000点
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纵倍率
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0．01～10,000,000倍（任意、自动）
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横倍率
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0．01～10,000,000倍（任意、自动）
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驱动速度
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上下移动速度（Z轴）
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0~200mm/s
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测量速度（X轴）
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0.03~3mm/s（粗糙度测量时） 0.02~20mm/s（轮廓度测量时）
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移动速度（X轴）
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0.02~60mm/s
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上下驱动范围
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500mm
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驱动部交换式
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0.75mN、2mmR半径、金刚石
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驱动部交换式
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0.75mN、2mmR半径、金刚石
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定货号 |
产品名称 |
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MM-02426-00 |
S5000DX表面粗糙度测量机 |
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MM-02426-90 |
DM48588通用测针 |
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MM-02426-91 |
DM48515深槽用测针 |
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MM-02426-92 |
DM48514极小孔用测针 |
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MM-02426-93 |
DM48513小孔用测针 |
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MM-02426-94 |
DM48511光角度用测针 |
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MM-02426-95 |
DM48510上下测量用测针 |
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MM-02426-96 |
DM48509轮廓用高刚性测针 |
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MM-02426-97 |
DM48508轮廓用高刚性测针 |
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MM-02426-98 |
DM48507通用高刚性测针 |
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MM-02426-99 |
DM48505通用测针 |
东京精密简介
东京精密，英文名：ACCRETECH，ACCRETECH－其发音为a-krei-tek，是英文ACCRETE（融合，共同成长）和TECHNOLOGY（科技，技术）的复合词，意味着集合各方面的技术，智慧，人才，资源创造世界的产品。东京精密，作为一家精密测量设备及半导体制造设备公司，从1949年创立至今，一直都致力于满足客户需求的高生产性能产品开发与客户支持服务。
东京精密大事记
1949年，东京精密成立。
1994年，东京精密成立北京办事处；成立中国服务中心（北京）；东京精密开始在中国销售测量仪器；与计量院合作提供技术服务。
1996年，东京精密上海办事处成立，加强对上海周边客户的服务。
1999年，东京精密深圳办事处成立，加强珠三角地区的服务
2002年，东京精密中国法人公司——东精精密设备（上海）有限公司成立，设立保税库，可以进行人民币业务结算。东精精密设备(上海)有限公司作为日本东京精密在中国的业务纽带，负责东京精密生产的所有产品在中国的销售及服务工作。
2003年，成立重庆办事处，加强中国西南地区的服务。
2009年，泰亚赛福与东京精密再次签约，成为东京精密在中国地区的代理商。
