●采用高精密无牙光杆和快速移动锁紧装置，确保工作台回程误差在2um以内；
●采用高精度A级仪器光学尺配合精密工作台，确保机台精度在≤3+L/200um以内；
●采用高清变焦镜头和高解析度彩色数字相机，确保画质清晰无畸变；
●采用程控式表面4环8区LED冷光源和透射LED平行光源，以及内置智能灯光调节模块，可自由控制灯光在4环8区任何区域的亮度；
●功能强大的iMeasuring2.1影像测量软件，提升品质管控到新的台阶；
●可选进口接触式探针和三维测量软件，轻松将机台升级成为接触式三次元测量机；
●可选FexQMS测量数据分析及和实时监控软件，提升制程控制、降低物料耗损。
